光栅传感器的结构及工作原理

一般常用的光栅是在玻璃上刻出大量平行刻痕制成,刻痕为不透光部分,两刻痕之间的光滑部分可以透光,相当于 一狭缝。精制的光栅,在1CM宽度内刻有几千条乃至上万条刻痕。 这种利用透射光衍射的光栅称为透射光栅,还有利用两刻痕间的反射光的光栅,如在镀有金属的表面上刻出许多平行刻痕,两刻痕的光滑金属面可以反射光,这种光栅成为反射光栅。由光栅形成的叠栅条纹具有光学放大作用和误差平均效应,因而能提高测量精度。 光栅传感器由标尺光栅、指示光栅、光路系统和测量系统四部分组成系统。标尺光栅相对于指示光栅移动时,便 形成大致按正弦规律分布的明暗相间的叠栅条纹