用激光修复集成电路

用激光调整单片集成电路是半导体加工提出很久的一个问题。美国Teradyne公司提出一种特别适用于存贮器的检测方法,它能提髙其加工效率和改进其特性分散性。有一种改进存贮器集成电路VLSI加工效率的简单方法,就是使用电路的多余行列对其修复。其过程是:首先测试集成电路,确定它的缺陷位置,然后对其修复。