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用激光束绘制集成电路图案

上传者: 2021-02-08 11:14:03上传 PDF文件 510.91KB 热度 13次
用激光束绘制复杂集成电路的图案仅需一般机械操作时间的六十分之一。美帝贝耳实验室目前用这种装有激光器的机器在影印的掩膜上产生电路图案。
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