衰减相移掩模及其编码制作方法研究 上传者：choukakuyou 2021-02-23 08:28:34上传 PDF文件 1.23MB 热度 10次 在霍普金斯(Hopkins)理论的基础上,对方孔的传统透射掩模、衰减相移掩模以及加入光学邻近效应校正的衰减相移掩模在硅片表面光强分布的计算表明,衰减相移掩模有提高光刻分辨率的显著功能。提出一种制作衰减相移掩模的编码方法,理论计算表明,该编码方法能够达到预定的衰减参数。 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论 choukakuyou 资源：405 粉丝：0 +关注 上传资源 免责说明 本站只是提供一个交换下载平台，下载的内容为本站的会员网络搜集上传分享交流使用,有完整的也有可能只有一分部,相关内容的使用请自行研究,主要是提供下载学习交流使用,一般不免费提供其它各种相关服务! 本站内容泄及的知识面非常广,请自行学习掌握,尽量自已动脑动手解决问题,实践是提高本领的途径,下载内容不代表本站的观点或立场!如本站不慎侵犯你的权益请联系我们,我们将马上处理撤下所有相关内容！联系邮箱：server@dude6.com
