灰阶掩模实现光学邻近校正及计算模拟研究 上传者：wajr36653 2021-02-23 08:28:30上传 PDF文件 998KB 热度 37次 从光学邻近效应产生机理出发, 提出用带灰阶衬线的灰阶掩模实现光学邻近效应精细校正的新方法, 并指出掩模图形振幅信息的优化, 即合理分布掩模图形的空间频谱, 可以改善空间像的光强分布并获得高质量的光刻图样。 计算表明, 校正后的成像图样与理想像的偏差小于0.9%。 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
