金属介质组合270°反射式宽带相位延迟膜设计

对激光实现由线偏振光转变成圆偏振光的偏振态调制,需要引入90°或270°相位延迟器。设计中选择金属介质组合,光学性能优良的Ag膜作为金属层,利用Gires-Tournois (G-T)腔调节相位,通过优化介质膜堆,在45°入射角和1000~1100 nm波段,所得相位延迟为270°±1°。通过误差分析可知,在现有膜厚控制精度下,控制敏感层容差,在设计带宽内可得到反射率R≥99.9%和相位延迟偏差δ<7.2°。