具有最佳p接触直径的高功率垂直腔面发射激光器

据报道,具有p接触直径的980nm底部发射垂直腔表面发射激光器(VCSEL)可实现高功率和良好的光束质量。 对在VCSEL中在有源区和p型分布布拉格反射器之间发生氧化的电流扩散进行了数值模拟。 已经发现,对于特定的氧化物Kong直径,对于具有优化的p接触直径的VCSEL,可以实现某种程度的均匀电流分布。 直径为600μm的VCSEL的远场发散角从30度抑制到15度,并且通过使用优化的p接触直径,在远场图案中没有观察到强烈的旁瓣。 由于p接触优化,阈值和光输出功率略有上升。 通过改进器件封装方法,器件的最大光输出功率为2.01W。