PECVD SiON薄膜的工艺控制、性质及其潜在应用
研究了等离子增强化学气相淀积(PECVD)氢氧化硅(SiON)薄膜的工艺控制、性质以及薄膜波导在超大规模集成电路(VLSI)光互连中的潜在应用。
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