相位恢复波前传感器测量精度的定量分析

为了验证相位恢复波前传感器的性能,搭建了相位恢复传感器和Zygo干涉仪对不同波前畸变进行比较测量的实验平台。采用液晶空间光调制器产生的单项像差来验证相位恢复传感器对各种像差的检测能力,把相位恢复测量结果与高精度的Zygo干涉仪测量结果进行比较分析,结果表明在面形误差分布及误差的峰谷(PV)值和均方根(RMS)值上,两者具有一致性,对于波前RMS的测量精度达到3λ/1000左右,这说明相位恢复测量方法的可行性和准确性。