环境温度变化对夏克 哈特曼波前传感器测量精度影响分析

环境温度变化是影响夏克哈特曼波前传感器(SHWS)测量精度的重要因素之一。采用Zemax软件热分析功能,分析了环境温度变化引起的微透镜阵列(MLA)变形及折射率变化、MLA和电荷耦合器件(CCD)间距变化以及球面波点源与SHWS间距变化对SHWS测量精度的影响。分析计算得出,环境温度变化引起的MLA和CCD间距变化是影响SHWS测量精度的主要因素,环境温度在21~24 °C内每增加1 °C,给测量结果带来的误差[均方根(RMS)]约为0.52 nm 。通过单模光纤衍射产生近于理想的球面波对SHWS测量精度进行实验验证,实验结果和仿真分析结果基本一致。