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用三维全光照相显微术检查集成电路

上传者: 2021-02-21 20:00:11上传 PDF文件 793.66KB 热度 6次
美帝国家航空和宇宙航行局的官员认为,在五年之内,用于太空任务的每一个电路都有可能用今天还不能实现的无损显微技术作精密检查。该局的电子学研究中心正在研究两种无损屏蔽集成电路的工具:全光照相显微术和扫描电子反射镜显微术。
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