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双轴晶衬底上双轴晶单晶薄膜的椭偏测量

上传者: 2021-02-21 11:36:01上传 PDF文件 2.75MB 热度 6次
本文给出了两种测量双轴晶衬底上双轴晶单晶膜的折射率和膜厚的方法及测量的公式.我们利用这种方法测量了所研制的KTP光波导薄膜层的折射率和膜厚.
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