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测量Ti扩散LiNbO

上传者: 2021-02-19 08:16:30上传 PDF文件 1.29MB 热度 10次
本文用扫描电镜电子探针测量了Y切平行于X方向的9微米宽Ti扩散LiNbO3沟道在Z方向上Ti离子的分布。计算了侧扩散系数,并观察到用稀HF酸(体积比(?)1:200)处理样品(浸泡,擦洗)前后的沟道表面隆起。
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