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测量薄膜的热扩散率

上传者: 2021-02-20 18:03:21上传 PDF文件 1.37MB 热度 11次
对测量蒸镀薄膜热扩散的脉冲加热技术已作了改进。该法利用电容能的脉冲电源系统将薄膜基片电阻加热到1,000到1000 Κ。迅速加热(时间间隔为20 με)不仅可以研究薄膜镀层,而且可以收集材料的有关数据,在高温时材料的结构要逐渐发生变化,或者出现质量损失。
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