电流驱动式传感器如何对 STC 进行补偿?

硅应变计的优点在于高灵敏度。硅材料中的应力引起体电阻的变化。相比那些仅靠电阻的尺寸变化引起电阻变化的金属箔或粘贴丝式应变计,其输出通常要大一个数量级。这种硅应变计的输出信号大,可以与较廉价的电子器件配套使用。但是,这些小而脆的器件的安装和连线非常困难,并增加了成本,因而限制了它们在粘贴式应变计应用中的使用。然而,硅应变计却是 MEMS (微机电结构)应用的 选择。利用 MEMS,可将机械结构建立在硅片上,多个应变计可以作为机械构造的一部分一起制造。因此,MEMS 工艺为整个设计问题提供了一个强大的、低成本的解决方案,而不需要单独处理每个应变计。 MEMS 器件 常见的一个实例是硅压力传感