微纳结构功能性雕塑薄膜 上传者:zdp40499 2021-02-18 01:18:28上传 PDF文件 3.36MB 热度 28次 微纳结构雕塑薄膜是在低温环境下采用倾斜角沉积技术再辅以基片的运动而制备得的各向异性功能性薄膜。由于沉积过程中的自阴影效应使得雕塑薄膜中存在很多孔洞,而且微观结构复杂多样,从而表现出很多新颖的光学特性,因此可作为微纳光电子器件实现工业应用。 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论