高精度相位型计算全息图的设计

为了解决非球面及自由曲面的高精度检测问题,基于二元光学计算机全息图(CGH)模型基础,分析了该模型下相位型CGH 各项误差对CGH 检测精度的影响,同时结合工程实例,针对口径为846 mm×630 mm 的自由曲面,设计了相应的相位型CGH,并实验验证了该设计的可行性。结果显示:在设计时应先将相位型CGH 的各个衍射级次进行分离;改变CGH 到干涉仪焦点距离以减小刻画畸变同时保证CGH 尺寸;再将基板误差检测出来,并代入设计结果进行补偿标定;最后在编码时将占空比选择为0.5,刻蚀深度选择在0.3λ 减小占空比误差、相位函数误差和振幅误差。