亚微米AZO光栅及其漫透射分布特性

探讨亚微米掺铝氧化锌(AZO)光栅的漫透射光谱特性。在AZO薄膜上涂布光刻胶,用325 nm激光双光束干涉曝光得到掩模图案。将其置于质量分数为0.5%的稀盐酸溶液中湿法刻蚀,制备出周期(780~1280 nm)和高度(60~300 nm)能独立调控的AZO一维光栅。正入射双向透射分布函数(BTDF)测试结果表明,400~900 nm波段内平均镜面透射率随光栅周期增大而降低,与紫外可见分光光度计测得的结果吻合;同时,周期越大被衍射到30°~80°范围内的漫透射比重和漫透射峰值均越大,而峰位角越小。根据光栅方程对实验结果给出了合理的解释。