具有多级浮雕结构的高透射亚波长金属光栅

设计并分析了一种新型的具有浮雕结构的亚波长金属光栅,光栅线的形状不再是单个矩形,而是具有多个台阶的浮雕结构。 GsolverV52用于确定光栅周期,凹槽深度和步数的最佳值。评价该新型结构的光学性能,并根据可见光和近红外波长光谱上的透射效率和消光比进行比较。结果表明,在相同参数下,与传统金属光栅相比,在近红外波段,最大透射率可以提高约15%。具有独特特性的金属光栅有望在液晶显示领域,偏振成像,光通信等领域得到应用。