加工用大功率CO

本文介绍采用新的SAGE放电泵浦的高速气流型连续振荡大功率加工用CO2激光器。SAGE泵浦方式就是无声放电辅助的直流辉光放电泵浦,即是以无声放电作为辅助放电的直流辉光放电,是一种适用于大功率激光器的放电泵浦方式。按照通产省“超高性能激光应用复合生产系统”的大型计划(1978~1984年度),需开发用SAGE方式泵浦的10 kW、20 kW级加工用大功率CO2激光器,下面以这些 成果为中心介绍有关的技术内容。