大功率射频板条CO

针对高功率射频板条CO2 激光器铜电极表面放电氧化、受射频放电的电子溅射,致使电极表面不光滑,辉光放电不均匀,光波导损耗严重等问题。利用Al2O3波导介质膜具有的反常色散效应、耐高温能力强的特点,采用磁控溅射镀膜技术对激光器电极表面先镀Al,而后阳极氧化获得Al2O3 波导介质膜。分析了磁控溅射工艺对膜层结构的影响,测量了镀膜电极对CO2 激光的反射率,并进行了放电实验检测。结果表明,溅射功率为250 W 时可得到致密的镀膜层结构;厚度6 μm 的Al2O3 薄膜,对波长10.6 μm 的CO2 激光波导反射率最高达75%;电极镀膜后激光器输出功率在占空比为30%时为700 W,占空比为60%