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在半绝缘InP衬底上集成半导体激光器、pin光电二极管和FET的光集成片

上传者: 2021-02-09 17:54:45上传 PDF文件 1.06MB 热度 3次
日本电报电话公司厚木电气通信研究所试制成在光纤通信中用作光信号放大器的光集成片。在半绝缘InP衬底上集成隐埋双异质结InGaAsP激光器、pin光电二极管、2级柱形栅FET(场效应晶体管)四种元件。
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