基于气体润滑支承技术的大承载精密一维调整技术研究

为实现光学和机械测量中对大型被测件位姿的一维高精度测量和调整,发明研制了基于空气静压轴承技术的高精度大承载一维调整装置,并对该一维调整系统的调倾性能进行测定和研究。阐述了基于空气静压轴承技术的调倾工作台的构成及工作原理。利用三维空间坐标变换得到调倾操作的数学模型,并由此得出了驱动器位移与倾斜角度间的关系。采用光电自准直仪构建测量系统,得出基于空气静压轴承技术的大范围高精度工作台倾斜调整的分辨力。分析了测量系统的误差,给出调倾装置的性能评价。实验结果表明:在50 kg负载下,调倾操作的分辨力为1.2′′,倾斜调整范围±1°。发明研制的系统满足光学和机械测量中对调整工作台的高精度、高分辨力、大调整范