基于ECR低能电子照射的超精密金属抛光技术研究 上传者：qq10849 2020-07-19 10:22:53上传 PDF文件 1.05MB 热度 37次 基于ECR低能电子照射的超精密金属抛光技术研究 ，陈思成，杨雷，本研究主要在封闭式电子回旋共振的方式下产生等离子体后，在外加电场的作用下由等离子体中的电子轰击金属表面对金属进行抛光。研 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
