扫描哈特曼波前检测技术的误差分析研究

以斜率检测的面形重构算法为基础,结合导轨指向误差的实验标定结果,分析了导轨指向误差来源对实际检测结果的影响,并对理论分析进行了数值仿真与补偿。结果表明,基于扫描哈特曼原理的波前检测技术对高频误差不敏感;通过拟合低频误差可提高波前检测精度。该研究结果对波前检测技术的工程应用具有重要指导意义。