哈特曼波前分析仪校准方法研究

在介绍哈特曼波前分析仪工作原理的基础上,分析了哈特曼探测器微孔阵列面与CCD 面间距LH 参数校准的必要性,提出并讨论了用已知斜率的平面波校准LH 参数,并将平面波斜率值精确溯源至点光源位移量的校准方法。依据此校准方法,实际校准了一台哈特曼波前分析仪,给出了LH 参数的校准值。用校准过的哈特曼波前分析仪测量了三种不同曲率半径的球面波前,与软件构造的相同曲率半径的理想球面波前作比较,波前测量精度达λ/35 ,波前像差PV 值达λ/7 。该实验结果表明,哈特曼波前分析仪校准结果是准确的,校准方法是有效可行的。