一种实时监测连续高功率激光束三维尺寸的方法

本文介绍一种简单而精确的方法,它不仅能实时研究连续激光束的一个截面,而且还能实时研究整个三维波型轮廓的尺寸。利用滚珠轴承可控地把高功率光束散焦到两个平面中,这是一种新方法,这种方法巳成功地用于激光感应氧化和硅的激光退火中的光束测量。虽然这种技术特定应用于红外区,但如果使用适当的检测器,它也可以扩展到可见辐射的研究。