使用低功率激光束的非接触探针

英国标准线规公司(BSG)制作的非接触式精密探针——Eemplier Precimeter,其标准测量范围(MR)是6、12、24或48 mm,相对工作距离为0.5 MR+40 mm。此探针结构紧凑,工作时产生直径为5 mm,在翻量表面会聚成0.1 mm光斑的低功率激光束。表面散射光由透镜系统收集,并射向两个光电探测器。这两个探涵器用以测量投射光斑的位置,从而确定每一时刻探针与表面的距离。对于很不规则或不稳定的表面,可将两个以上的探测器组合使用。