光学材料亚表面损伤的表征与检测技术的研究进展

亚表面损伤(SSD)的系统表征和准确检测是控制光学材料加工表层损伤的关键。将SSD的表征方法和检测技术相结合, 综述了光学材料SSD检测评价方法的研究进展; 分析了超精密加工产生的SSD结构和表征参量; 针对SSD的几何表征参量, 介绍了几种典型的损伤性检测技术及其技术特点和适用范围; 重点介绍了几种满足超精密加工检测要求的无损伤检测技术, 并分析了其技术优势和发展瓶颈; 对比了国内外SSD的表征与检测技术水平, 并对SSD检测技术的发展趋势进行了展望。