长景深阵列光学组件缺陷检测系统设计

介绍了神光-III中阵列光学组件缺陷的长景深检测系统的基本组成。利用在系统光阑处进行的相位调制, 可以实现景深的延拓效果, 从而可以实现在3~13 m物距范围内的大景深成像探测。进一步论述了光学检测系统的设计指标、设计思想、设计结果及其仿真评价。模拟结果显示该系统可以实现3~13 m纵向范围内阵列光学组件缺陷的同时检测。