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激光在集成电路制作中的新功用

上传者: 2021-02-08 12:11:42上传 PDF文件 2.07MB 热度 5次
美国国际商业机器公司的研究人员,一九七四年十二月十一日在华盛顿召开的国际电子器件会议上建议把激光器作为集成电路制作中的新工具。S. E. Schuster描述了在加工成的集成电路片上形成电连接的方法,并建议用于有缺陷的片的修理和通用片(诸如可编码逻辑列阵)的布线。
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