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用激光检查半导体

上传者: 2021-02-08 11:14:55上传 PDF文件 1.07MB 热度 15次
使用美帝通用电话和电子学实验室研制的红外激光扫描显微镜,能改进半导体工业中的检验方法。在加工前及加工过程中,激光束穿过半导体片产生明亮的“阴影图”。
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