五棱镜扫描测量非球面二次系数方法研究

提出了利用双五棱镜扫描求解大口径非球面二次系数的方法。该方法采用一束平行光通过五棱镜扫描大口径非球面,通过非球面的反射光将聚焦在非球面的光轴附近,通过测量被测非球面焦平面上光斑质心偏移光轴的轨迹求解二次系数。建立了光斑质心偏移轨迹和二次系数关系的数学模型,并分离调整误差如离焦和倾斜。在上述算法的基础上对五棱镜扫描法求二次系数进行了误差源分解,在误差容限范围内通过分离调整误差和去除非相关像差的影响得到了较高的二次系数测量精度。