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一种测量非球面面形的新方法

上传者: 2021-04-26 06:59:05上传 PDF文件 917KB 热度 7次
本文发展了一种激光-CCD衍射谱分析系统,利用衍射谱位相恢复方法测量非球面光学件的面形。本文的方法不需要产生非球面参考波前,这就避免了通常干涉方法测量非球面的特殊困难。
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