光刻投影物镜恒温水套小比例模型的设计与性能测试

恒温水套是光刻物镜工作环境温度控制系统的重要组成部分。为了研究恒温水套的关键参数与性能,设计了一个小比例水套模型。恒温温控系统对其提供±0.001 °C的去离子水,通过对比三镜光机系统温度变化及热像差变化获取小比例水套的关键参数。实验数据表明,在加入热扰动且环境温度为22.06~22.16 °C的情况下,三镜光机系统的内壁温度被控制在(22±0.01) °C以内,波像差在热扰动后迅速恢复至10.12 nm,与装调完毕状态基本一致。由此可见,此种水套结构可以满足光刻投影物镜的温度控制要求,可在此基础上设计等比例恒温水套模型。