0.35 μm分步重复投影光刻物镜设计 上传者：qq_91663 2021-04-08 18:27:14上传 PDF文件 573.09KB 热度 44次 介绍0.35 μm分步重复投影光刻物镜的设计要点, 包括数值孔径、 结构型式的确定、 材料的选择。 介绍了光刻物镜设计的难点、 创新点及设计结果。 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
