一种新型差分平面镜干涉仪

针对传统差分平面镜干涉仪结构复杂、需要光学部件多从而导致系统调试困难、测量信噪比低等缺点,提出了一种结构简单需要光学部件少的新型差分平面镜干涉仪系统。此干涉仪能够产生对称的空间四光路,对环境因素(湿度、温度及大气压)的变化有很好的抗干扰能力,测量分辨率高。如果附加其他光学元件,可轻易实现对偏摆角、微滚转角、直线度等几何量的测量。静态状态下,其位移漂移小于1 nm,而同等条件下传统迈克耳孙干涉仪漂移大于10 nm。基于此系统的精密角度测量干涉仪,使用电子细分为2π/516的相位计,可以得到0.024 μrad的测量分辨率。