用条纹干涉仪连续快速测量平面度偏差

按惯例采用表面干涉仪测量平面度偏差。但当待测件严重变形时,会出现大量干涉条纹及封闭干涉环(图1~2),用干涉测量进行定量分类是困难的。由于其干涉条纹数目多,无法用目视进行快速计值,即使采用目前市售的位移法自动干涉计值系统也有困难。分辨率的标准是矩形探测面上的条纹密度至少需要每个条纹4个象素。