基于信赖域狗腿法的非球面抛光后置处理方法

提出利用信赖域狗腿法解决通用非球面光学元件抛光后置求解的强非线性问题。基于低序体表示和齐次变换方法建立适用于任意非球面面形和任意轨迹抛光的正向运动学模型;基于信赖域狗腿法建立强非线性正向运动学模型的数值优化求解方法,获得相应的逆向运动学数值结果;对逆向运动学数值求解结果进行处理得到各轴控制量,用于抛光后置处理。对一初始面形均方根值为0.037λ的离轴非球面采用光栅线进行4轮抛光,采用螺旋线进行5轮抛光,加工元件的面形收敛到均方根值为0.012λ,总收敛效率达到67.57%,表明所提后置处理方法是正确的,能够用于非球面加工。