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确定非球面检测中最佳参考球面波的方法

上传者: 2021-02-10 04:00:26上传 PDF文件 1.22MB 热度 4次
通过计算被测非球面反射波与参考球面波在干涉图记录平面CCD上的干涉条纹密度,分析参考球面波波源在不同位置时CCD上干涉条纹密度的分布,比较参考球面波波源在不同位置的最大干涉条纹密度,使得在CCD上的最大干涉条纹密度最小的参考球面波的波源位置,便是非球面干涉检测时最佳的参考球面波波源的位置,由此位置发出的球面波便是非球面检测中所需要的最佳参考球面波。此时计算所得到的最大干涉条纹密度又是数字全息非球面检测系统中CCD选型的重要依据,同时也是对一个非球面测试系统的精度进行评价的重要技术指标。本方法可以用于任意非球面检测中最佳参考球面波波源位置的确定,且不需要对非球面面型函数进行任何解析计算。
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