基于绝缘体上硅和溶胶凝胶杂化SiO

Name: 基于绝缘体上硅和溶胶 凝胶杂化SiO
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Author: terranxjq

上传者：terranxjq 2021-01-30 12:22:17上传 PDF文件 2.34MB 热度 32次

为了提高基于绝缘体上硅(Silicon on insulator,SOI)的Si微纳波导器件和光纤的耦合效率,设计了一种基于SOI和溶胶-凝胶杂化SiO

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