准分子激光剥离系统在高亮LED生产中的应用

Name: 准分子激光剥离系统在高亮LED生产中的应用
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Author: zzd62571

上传者：zzd62571 2021-01-17 04:19:08上传 PDF文件 215.79KB 热度 22次

而采用准分子激光剥离设备去除蓝宝石则是一种有效的工艺手段,在新一代高亮LED芯片的制备中,将会成为不可或缺的关键技术。

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