LED生产中的光学原位监测

高产量、高亮度的LED生产极具挑战性。随着高亮度LED的应用范围更进一步地扩大,今后高效率及高成品率的设备将会是市场的主流。比如显示器背光、汽车照明以及普通照明,它们成为化合物半导体技术空前发展的驱动力。LED的崛起是驱动MOCVD设备生长的原动力。现今用MOCVD设备来生产的GaN外延片,主要还是以2″的蓝宝石衬底为主。