湿化学YES 上传者：sip3781 2021-01-10 01:34:27上传 DOCX文件 69.93KB 热度 44次 湿法蚀刻工艺的原理是使用化学溶液将固体材料转化为液体化合物。选择性非常高,因为所用化学药品可以非常精确地适应各个薄膜。对于大多数解决方案,选择性大于100:1。 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
