新型硅芯晶体炉的开发与设计

(1.西安理工大学晶体生长设备研究所,陕西 西安 710048:2.西安理工大学机仪学院,陕西 西安 710048)摘 要:从分析硅芯晶体生长的工艺特点出发,简要介绍了硅芯晶体生长设备的设计思想以及新近开发设计的新型硅芯晶体炉的机械结构及电气控制系统。关键词:硅芯炉; 工艺特点; 机械结构; 电气控制中图分类号:TF806.9 文献标识码:A文章编号:1004-4507(2005)08-0007-03多晶硅是单晶硅生产企业必不可少的主要原料,而硅芯是多晶硅生产过程中生长多晶的载体。随着多晶硅行业的快速发展,国内原有的硅芯生产设备,已远不能满足多晶硅生产企业的需要。为此,我们新近研制开发TDL-