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芯片污染检测/总结

上传者: 2020-12-13 13:54:07上传 PDF文件 20.87KB 热度 14次
对各种污染形式的检测在第八章和第十四章中具体描述。表5.35总结了有关洁净室洁净度的规范。 Year of Production 2001 2006 2012 -------------------------------------------------------------------------------------------------------Line width (nm) 150 100
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