芯片制造空气污染

普通空气中含有许多污染物,只有经过处理后才能进入洁净室。最主要的问题是含有在空气中传播的颗粒,一般指微粒或浮尘。普通空气包含大量的微小颗粒或粉尘,见图5.5。 微小颗粒(悬浮颗粒)的主要问题是在空气中长时间飘浮。而洁净室的洁净度就是由空气中的微粒大小和微粒含量来决定的。 美国联邦标准209E 规定空气质量由区域中空气级别数来表示。3 标准按两种方法设定,一是颗粒大小,二是颗粒密度。 区域中空气级别数是指在一立方英尺中所含直径为 0.5 微米或更大的颗粒总数。一般城市的空气中通常包含烟,、雾、气。每立方英尺有多达五百万个颗粒, 所以是五百万级。随着芯片部件尺寸的更新换代,不断提高的芯片灵敏度要求