传感技术中的响应三甲胺气体低阻TiO2基气体传感器研制

孙海波,王强,裴素华,孙振翠(山东师范大学半导体研究所,山东 济南 250014)摘要:二氧化钛是一种良好的响应三甲胺气体的敏感材料,然而用它做成传感器后存在一个明显的缺点:阻值太高。文中采用不同气氛热退火和掺杂方法来提高TiO2基材料的电导率,从而制成一种新型低阻敏感元件,对三甲胺灵敏度高、选择性好。 关键词:二氧化钛;热退火;掺杂;三甲胺1 IntroductionThe detection of food freshness is important in various fields of food industry. As for fish freshness,it is gener