氟气─清洗化学气相沉积反应器腔室的创新方式

陈佳明(BOC爱德华先进科技 (股份) 公司) 摘要:对于将氟气应用在化学气相沉积器清洗的应用而言,其安全性、稳定性、纯度和价格,在应用上是一个新的挑战。对一般气相沉积反应器清洗而言,一体化氟气供应策略,对寻求低价取代方案的使用者而言,是最安全和稳定的供应方式。 关键词:氟气;清洗;化学气相沉积 中图分类号:TN305.97 文献标识码:A 文章编号:1003-353X(2004)01-0030-051 前言 过去多年以来,在减少氟化物的排放方面,半导体业行业一直处于领先地位[1,2] 。在气相沉积反应器清洗上,人们研究了许多替代性的的气体和工艺方法[3~5],但是,由于这些原料供应短缺,或者