传感技术中的无线加速度传感器的MEMS芯片ADXL202应用设计与集成

摘要:阐述了一种基于MEMS 技术的芯片ADXL202 的应用设计与集成。介绍了ADXL202 的测试原理和主要参数设计原则,然后利用其集成了一种无线加速度传感器并进行了测试。实验结果表明:ADXL202 非常适合于频率变化较为缓慢、加速度不太大的土木工程结构的测量;利用ADXL202 所构成的无线加速度传感器,易安装拆除,适合在土木工程结构监测中应用。 关键词:MEMS;无线加速度传感器;集成;监测 MEMS芯片ADXL202 测量原理与参数设计 ADXL202 是一种低成本、低功耗、功能完善的双轴加速度传感器。它以多晶硅为表面的微机电传感器和信号控制